Sensorik vereinfacht

CMOSens Mikrochip

14.08.2008 Der hochsensitive, thermische Sensor-Chip CMOSense ist in der Lage, mediengetrennt durch die Wand des im Substrat verlaufenden Kanals hindurch zu messen.

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Dieses Prinzip erlaubt Flussmessungen sowie Luftblasenerkennung im Mikroliterbereich. Ein digitaler Mikrochip (2,2 x 3,5 mm) wird auf das mikrofluidische Substrat aufgebracht. Neben dem Sensorelement beinhaltet der Chip die digitale Intelligenz sowie einen Speicher für die Linearisierung und Temperaturkompensation. Außerdem wird ein I²C Interface zur Verfügung gestellt, das mit 2,8 bis 3,3V betrieben werden kann. Die elektrische Kontaktierung erfolgt über metallische Leiterbahnen auf der Oberfläche des mikrofluidischen Substrats. Flüssigkeits-Ein- und Auslass können bei Bedarf zur Unterseite hin ausgeführt werden. Die Geräte zeigen Reaktionszeiten von ca. 30ms und lassen sich mit Auflösungen bis zu 0,5 nl/min realisieren.

Sensorelemente, Massemessen, Durchflussmessung

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