Die thermische Massedurchflussmessung gewinnt dank ihrer Genauigkeit und Zuverlässigkeit zunehmend an Bedeutung. Geräte mit integriertem
Regelventil, sogenannte Flowcontroller, haben die Automation von Gasprozessen erst möglich gemacht. Dabei erweitert die CMOS-Technologie die Leistungsfähigkeit im Vergleich zum klassischen Massemesser und Masseregler.
Automation
Massedurchflussregler mit integrierten Halbleitersensoren
Die thermische Massedurchflussmessung gewinnt dank ihrer Genauigkeit und Zuverlässigkeit zunehmend an Bedeutung. Geräte mit integriertem Regelventil, sogenannte Flowcontroller, haben die Automation von Gasprozessen erst möglich gemacht. Dabei erweitert die CMOS-Technologie die Leistungsfähigkeit im Vergleich zum klassischen Massemesser und Masseregler.