Automation

Restgasanalysator Quadrupol-Massenspektrometersystem RGA100

20.03.2017 Das Quadrupolmassenspektrometersystem RGA100 von SI Scientific Instruments ist speziell für die Prozessanalyse in Halbleiter-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen entwickelt.

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Entscheider-Facts

  • wenige Bauteile
  • wartungsfreundlich
  • hohe Empfindlichkeit

Das simple Design des Messgeräts enthält lediglich eine geringe Anzahl von Bauteilen, was die Ausgaskomponenten minimiert und die Zuführung von Verunreinigungen reduziert. Das System besteht aus Restgasanalysator mit Detektor, Elektronikeinheit und auf Windows basierender Echtzeit-Software. Der Messkopf enthält einen Faraday-Detektor. Für gesteigerte Empfindlichkeit und verkürzte Messzeiten lässt sich zusätzlich ein Sekundärelektronenvervielfacher einbauen. Durch Autokalibrationsroutinen ist ein Austausch von Filament oder SEV vom Anwender selbst durchzuführen. Eine ständige Überwachung des Druckes ist zum Schutz der zwei Heizfäden vorgesehen. Bei Überdruck werden Sie sofort abgeschaltet, was die Lebensdauer erheblich steigert. Der logarithmische Stromverstärker ermöglicht simultanes Messen kleiner und großer Konzentrationen. Zum Ausheizen lässt sich die Elektronikeinheit wartungsfreundlich mittels zwei Schrauben entfernen. Die Software bietet vielfältige Auswertungs- und Anzeigemöglichkeiten wie Druck über Massezahl, Druck über Zeit, Histogrammodus, Leckdetektion, umfangreiche Bibliothek, Meßtabellen, oder Grenzwerttabellen. In chemischen Prozessanlagen lassen sich bis zu acht Quadrupolmeßköpfe simultan überwachen.

Bild: SI Scientific Instruments

Das Quadrupol-Massenspektrometersystem RGA100 dient als Restgasanalysator für die Prozessanalytik. (Bild: SI Scientific Instruments)

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