TopthemaVakuumpumpen verbessern Prozesse bei der Halbleiterproduktion

Getestet und für gut befunden

Kristallklar und luftleer: Die Produktion von Halbleitern ist ein komplexer Prozess, der ständig weiterentwickelt und verbessert wird. Die Firma Siltronic aus München, einer der Weltmarktführer in der Waferherstellung, entwickelt und produziert diese aus Reinstsilizium für den Weltmarkt. Um effizienter – im Hinblick auf Prozessgestaltung und Energieeinsatz – und mit geringerem Wartungsaufwand zu produzieren, stattet das Unternehmen verschiedene seiner Anlagen mit den trockenlaufenden Vakuumpumpen aus.

Vakuumpumpen verbessern Prozesse bei der Halbleiterproduktion

Fachartikel		Produkte
	Prozessoptimierung in Miniplants Das Beste herausholen - Die Miniplant-Einrichtungen bei DSM werden ständig nach dem neuesten Stand der Produktionstechnologie ausgerichtet. Insbesondere die Vakuumversorgung wurde in den letzten Jahren sukzessive...			Neue Baugröße bei Klauen-Vakuumpumpe Mink Saugleistung bis 500 Kubikmeter pro Stunde - Die neue Baugröße der Klauen-Vakuumpumpe Mink von Dr.-Ing. K.Busch zeichnet sich durch eine Förderleistung von bis zu 500 Kubikmetern pro Stunde aus. Sie wird in Saugförderanlagen unter anderem...
Trockenlaufende Chemievakuumpumpen für raue Bedingungen: Öl- und berührungsfrei 05.08.2011 Pfeiffer übernimmt französischen Vakuumtechnik-Anbieter / Interview mit Vorstand Wiemer: Wachstum im Blick 03.11.2010 Effiziente Vakuum- und Staubfiltrations-Lösungen für Czochralski-Kristallziehanlagen: Sicher saugen 27.11.2009 Ohne Nichts geht´s nicht: CT-Trendbericht Vakuumtechnik 25.11.2009 CT-Produktfokus:Kompressoren und Vakuumtechnik: Luftige Höhen und Tiefen 20.11.2009 Interview mit Dr. Alexander Gerhard, Marktmanager Beschichtung bei Pfeiffer Vacuum: 18.09.2009 Wälzkolben-Vakuumpumpe mit neuem Antriebskonzept: Wirkungsgrad rauf 29.04.2009 Ultraschall-Leck-Detektion bei Druckluftsystemen: Verräterische Töne 08.04.2009 Gasgekühlte Wälzkolbenpumpen als Alternative zum Dampfstrahler: Renaissance eines Klassikers 29.03.2008 Energiesparende Vakuumförderer: Alles im Sog 13.08.2007 CT-Produktfokus Kompressoren und Vakuumpumpen: EINERSEITS UND ANDERERSEITS 09.08.2006 Zündfähige Gasgemische kostengünstig mit Trockenläufern fördern: Raus aus Zone 0 06.06.2005 Hersteller in der Pflicht: Flüssigkeitsringpumpen Atex-konform ausführen: Explosionsschutz durch Maschinenschutz 14.02.2005 Fördern zündfähiger Pulver und Schüttgüter im Vakuum: Stressfrei saugen 09.03.2004 CT Produktfokus Vakuumpumpen: Neue Technologien fürs Nichts 11.02.2004 Mit trockenlaufenden Vakuumpumpen Prozesse optimieren: Trocken Trocknen 11.11.2003 CT-Produktfokus: Fördern von Schüttgütern: Alles im Fluss 05.08.2003 Neue Anwendungen für Druckluft-Vakuumpumpen nach dem Venturiprinzip: Atex kein Thema 15.05.2003 Auch die Wartung von Vakuumpumpen in Ex-Bereichen wird rechtswirksamer Faktor: Investition - und danach? 01.04.2003 Weitere Fachartikel		8-Zylinder Membran-Vakuumpumpen: Umweltschonende Alternative 11.10.2012 Turbopumpe STP Maglev: Maximierter Gasdurchsatz 10.09.2012 Vakuum- und Vorvakuumpumpen Baureihe N 950.50 KNE: Besonders kurze Auspumpzeiten 30.08.2012 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe FGP aus Frikorund: Verursacht keine Abwasserbelastung 23.07.2012 Spiralvakuumpumpen nXDS: Deutliche Leistungssteigerung 19.04.2012 Turbo-Molecular Pump Series STP-iXR1606: Unsullied by Its Environment 16.04.2012 Hochleistungsvakuumpumpen GXS450- und GXS750: Effizient und leise 05.03.2012 CXS Trockenvakuumpumpe: Verbesserte thermische Regelung 21.10.2011 Vakuumpumpen ME 2 NT und ME 2C NT: Leiser und leistungsstärker im Labor 13.09.2011 Auswahlhilfe Produktselektor: In wenigen Schritten zur passenden Vakuumlösung 19.06.2011 Regelpaket für Drehschieber- Vakuumpumpen: Hochsieder gehen leicht in die Luft 07.06.2011 Chemie-Membranpumpe MD 4CRL NT: Für gefährliche Gase und kontaminationsfreie Analytik 29.04.2011 Flüssigkeitsring-Kompressor Nash 2BQ: Lösung für anspruchsvolle Prozesse 26.01.2011 Vakuumpumpe F-CEV-S: Geringe Erwärmung auch im gedrosselten Betrieb 16.10.2010 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe Nash 2BE4: Vakuum oder Kompressor 27.07.2010 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe Dolphin: Hohe Saugvolumina 07.06.2010 Vakuumförderer GV35: Einfach zu reinigen 20.05.2010 Trockenläufer-Vakuumpumpsystem Drystar 80: Den Preis im Blick 17.05.2010 Lokales Vakuumnetzwerk Vacuu-Lan: Lokal statt zentral 17.03.2010 Weitere Produkte

Fachartikel

Produkte

Prozessoptimierung in Miniplants

Das Beste herausholen - Die Miniplant-Einrichtungen bei DSM werden ständig nach dem neuesten Stand der Produktionstechnologie ausgerichtet. Insbesondere die Vakuumversorgung wurde in den letzten Jahren sukzessive...

Neue Baugröße bei Klauen-Vakuumpumpe Mink

Saugleistung bis 500 Kubikmeter pro Stunde - Die neue Baugröße der Klauen-Vakuumpumpe Mink von Dr.-Ing. K.Busch zeichnet sich durch eine Förderleistung von bis zu 500 Kubikmetern pro Stunde aus. Sie wird in Saugförderanlagen unter anderem...

Weitere Fachartikel

8-Zylinder Membran-Vakuumpumpen: Umweltschonende Alternative 11.10.2012
Turbopumpe STP Maglev: Maximierter Gasdurchsatz 10.09.2012
Vakuum- und Vorvakuumpumpen Baureihe N 950.50 KNE: Besonders kurze Auspumpzeiten 30.08.2012
Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe FGP aus Frikorund: Verursacht keine Abwasserbelastung 23.07.2012
Spiralvakuumpumpen nXDS: Deutliche Leistungssteigerung 19.04.2012
Turbo-Molecular Pump Series STP-iXR1606: Unsullied by Its Environment 16.04.2012
Hochleistungsvakuumpumpen GXS450- und GXS750: Effizient und leise 05.03.2012
CXS Trockenvakuumpumpe: Verbesserte thermische Regelung 21.10.2011
Vakuumpumpen ME 2 NT und ME 2C NT: Leiser und leistungsstärker im Labor 13.09.2011
Auswahlhilfe Produktselektor: In wenigen Schritten zur passenden Vakuumlösung 19.06.2011
Regelpaket für Drehschieber- Vakuumpumpen: Hochsieder gehen leicht in die Luft 07.06.2011
Chemie-Membranpumpe MD 4CRL NT: Für gefährliche Gase und kontaminationsfreie Analytik 29.04.2011
Flüssigkeitsring-Kompressor Nash 2BQ: Lösung für anspruchsvolle Prozesse 26.01.2011
Vakuumpumpe F-CEV-S: Geringe Erwärmung auch im gedrosselten Betrieb 16.10.2010
Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe Nash 2BE4: Vakuum oder Kompressor 27.07.2010
Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe Dolphin: Hohe Saugvolumina 07.06.2010
Vakuumförderer GV35: Einfach zu reinigen 20.05.2010
Trockenläufer-Vakuumpumpsystem Drystar 80: Den Preis im Blick 17.05.2010
Lokales Vakuumnetzwerk Vacuu-Lan: Lokal statt zentral 17.03.2010

Weitere Produkte

Partner-Sites

Aktuelle Ausgabe

Mai

Service:
Archiv | Probeheft | Abo

Projekte

Weitere Projekte

Specials

Emerson Process Management

Emerson Process Management ist ein weltweit führender Lieferant von Produkten, Services und Lösungen, um prozessbasierte Verfahren zu messen, zu analysieren, zu regeln, zu automatisieren und letztendlich zu verbessern.

Prozessautomatisierung

Lesen Sie jetzt kostenlos unser Special zum Thema "Prozessautomatisierung" als ePaper.

Weitere Specials

Sonderausgaben & Kompendien

Kompendium Industrieparks

Termine

Weiterbildung im Explosionsschutz
Bremerhaven: 28.05.13-28.05.13
Die neue Gefahrstoffverordnung 2010 und deren Umsetzung in die Praxis
Essen: 28.05.13-28.05.13
Dichtungstechnik im Rohrleitungs- und Apparatebau
Essen: 06.06.13-06.06.13
Webinar: Herausforderung Elastomerdichtung: Schadensprävention bei O-Ringen
Web: 07.06.13-07.06.13

Neuen Termin vorschlagen | Weitere Termine

Baupreisindex

CHEMIE TECHNIK exklusiv: Preisindex für Chemieanlagen - Teuerung schwächt sich ab

Am meisten gelesen