TopthemaEffiziente Vakuum- und Staubfiltrations-Lösungen für Czochralski-Kristallziehanlagen

27.11.2009, 08:57

Sicher saugen

Höhere Produktivität und niedrigere Betriebskosten sind auch für Hersteller von monokristallinen Siliziumwafern derzeit wichtige Ziele. Wichtig ist unter anderem die richtige Kombination von Staub-Filtration und Vakuumsystem: entweder basierend auf einem kosteneffizienten ölgedichteten Vakuumsystem oder einer modernen, staub-toleranten und trockenverdichtenden Schraubenvakuumpumpe.

Effiziente Vakuum- und Staubfiltrations-Lösungen für Czochralski-Kristallziehanlagen

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Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe Vectra XL 750

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