Restgas

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Das Messen von Ausgasraten

26.03.2014 Teilchenbeschleuniger, Fusionsreaktoren oder die EUV-Lithografie – viele zukunftsweisende Technologien wären ohne Hochvakuum oder Ultrahochvakuum nicht möglich. Um diese tiefen Vakua erzeugen und als Umgebung der Prozesse aufrechterhalten zu können, ist nicht nur eine auf die Anforderungen der spezifischen Anwendung abgestimmte Pumpentechnologie notwendig. Ebenso wichtig ist die Analyse von Restverunreinigungen, die von jeder Oberfläche im Vakuum abgegeben werden. mehr



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