Waferherstellung

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Vakuumpumpen verbessern Prozesse bei der Halbleiterproduktion

16.04.2013 Kristallklar und luftleer: Die Produktion von Halbleitern ist ein komplexer Prozess, der ständig weiterentwickelt und verbessert wird. Die Firma Siltronic aus München, einer der Weltmarktführer in der Waferherstellung, entwickelt und produziert diese aus Reinstsilizium für den Weltmarkt. Um effizienter – im Hinblick auf Prozessgestaltung und Energieeinsatz – und mit geringerem Wartungsaufwand zu produzieren, stattet das Unternehmen verschiedene seiner Anlagen mit den trockenlaufenden Vakuumpumpen aus. mehr



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