Messen Edelgas in Glovebox-Systemen

Thermische Strömungssensoren TA-Di

07.08.2001 Die thermischen Strömungssensoren TA-Di zeichnen sich neben der hohen Wiederholgenauigkeit durch eine große Messdynamik sowie ihre Druck- und Temperaturbeständigkeit aus.

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Die thermischen Strömungssensoren TA-Di zeichnen sich neben der hohen Wiederholgenauigkeit durch eine große Messdynamik sowie ihre Druck- und Temperaturbeständigkeit aus. Eingesetzt werden sie beispielsweise bei der Produktion von Gasentladungslampen, wo für den Strömungskreislauf eine kontinuierliche Überwachung des Edelgases und die Regelung des Reinigungskreislaufs in der Glovebox-Atmosphäre gefordert wird. Die wartungsfreien, vakuumdicht montierbaren thermischen Strömungssensoren mit einfacher Signalverarbeitung sind direkt als Zwischenflansch-Messwertaufnehmer ausgeführt. Mikroprozessorgesteuerte Auswerteeinheiten verarbeiten die Sensorsignale zu strömungsproportionalen analogen Ausgangssignalen.

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