Die thermische Massedurchflussmessung gewinnt dank ihrer Genauigkeit und Zuverlässigkeit zunehmend an Bedeutung. Geräte mit integriertem
Regelventil, sogenannte Flowcontroller, haben die Automation von Gasprozessen erst möglich gemacht. Dabei erweitert die CMOS-Technologie die Leistungsfähigkeit im Vergleich zum klassischen Massemesser und Masseregler.