Die Vakuumpumpe zeichnet sich durch ihre hohe Saugleistung aus (Bild: Busch)
Um die Pumpen auch vom Enddruck auf die Anforderungen des Prozesses abzustimmen, werden diese in zwei Bauarten angeboten: Dolphin LA arbeiten einstufig und erreichen, je nach Baugröße, Enddrücke von 120 bis 150 mbar. Bei der Ausführung Dolphin LB werden, durch zweistufige Bauweise, Enddrücke von 33 mbar erreicht. Grundsätzlich kann zwischen drei verschiedenen Betriebsarten gewählt werden: Beim Durchlaufsystem wird die Betriebsflüssigkeit permanent zugeführt und zusammen mit dem Prozessgas ausgestoßen. Beim offenen Kreislauf sammelt sich die Betriebsflüssigkeit in einem nachgeschalteten Behälter, wird dort vom Gas getrennt und wieder der Vakuumpumpe zugeführt. Gleichzeitig strömt frische Betriebsflüssigkeit in die Vakuumpumpe. Beim Betrieb mit geschlossenem Kreislauf wird ebenfalls in einem nachgeschalteten Behälter die Betriebsflüssigkeit vom Gas getrennt, durchläuft danach einen Kühler bevor sie wieder in die Vakuumpumpe zurückgeführt wird. Bei geschlossenem Kreislauf findet praktisch kein Verlust an Betriebsflüssigkeit statt. Die Vakuumpumpen sind in einer Vielzahl von Materialien erhältlich. Außerdem sind die Geräte in Atex zertifizierter Ausführung für Kategorie 1(i)/2(o)G IIB+H2 T4 erhältlich.