Kapazitiver Vakuum-Drucktransmitter CMR/CCR

Kapazitiver Transmitter CMR/CCR

Die Messbereiche von 10^-5 bis 1100 mbar werden abgedeckt. Das Ausgangssignal 0 bis 10 Volt liefert ein integriertes Fehlersignal und sichert so die Messung. Die Sensoren der Geräte sind aus Keramik gefertigt, was aufgrund der Materialeigenschaften (niedriger Temperaturfluss) zu sehr geringen Messwertabweichungen führt. Zudem werden so Memory-Effekte verhindert. Auch ist Keramik relativ resistent gegenüber korrosiven Gasen. Die Signalverarbeitung führt zu einer optimierten Messgrenze bis zu dem kleinstmöglichen Messwert von 10^-5 mbar.