Mess- & Analysetechnik

27. Okt. 2021 | 06:53 Uhr | von Armin Scheuermann

Wenige Ausgaskomponenten

Massenspektrometer für Gas- und Vakuumanwendungen

Das Quadrupolmassenspektrometer RGA300 von SI Scientific Instruments wurde speziell für das Feld der Halbleiter-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen entwickelt. Das simple Design enthält lediglich eine geringe Anzahl von Bauteilen, was die Ausgaskomponenten minimiert und die Zuführung von Verunreinigungen reduziert.

SI Scientific Instruments

Das Massenspektrometer hat wenige Ausgaskompoenten, was die Gefahr von Verunreinigungen reduziert. (Bild: SI Scientific Instruments)

Das System besteht aus Ionisator mit Quadrupolfilter und Detektor, Elektronikeinheit und Echtzeit-Software auf Windows-Basis. Der Messkopf enthält einen Faraday-Detektor. Zur Steigerung der Empfindlichkeit und Verkürzung der Messzeiten kann zusätzlich ein Sekundärelektronenvervielfacher eingebaut werden. Durch Autokalibrierungsroutinen ist dies vom Anwender selbstständig durchführbar. Ebenso kann binnen weniger Minuten das Filament ersetzt werden. Zum Ausheizen kann die Elektronikeinheit mittels zwei Schrauben entfernt werden. Eine ständige Überwachung des Druckes ist zum Schutz der zwei Heizfäden vorgesehen. Bei Überdruck erfolgt die sofortige Abschaltung, wodurch die Lebensdauer erheblich gesteigert wird. Durch den logarithmischen Stromverstärker werden kleine und große Gaskonzentrationen simultan gemessen. Die Windows-basierte Software bietet vielfältige Auswerte- und Anzeigemöglichkeiten wie Druck über der Massezahl, Druck über der Zeit, Histogrammmodus, Leckdetektion, umfangreiche Bibliothek, Messtabellen, Grenzwerttabellen, etc. Bis zu acht Messköpfe können simultan überwacht werden.

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Entscheider-Facts

  • wenig Bauteile
  • Autokalibrierung
  • Drucküberwachung

Unternehmen

SI Scientific Instruments GmbH

Römerstraße 67
82205 Gilching
Germany

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