Die Intensität bewahren

Massenflussregler MCV

22.08.2011 Der MCV-Massenflussregler von Alicat Scientific haben enge Abschaltparameter, wodurch sie die Vakuumprozessintegrität bieten, die beispielsweise bei Vakuumbeschichtung oder Sputterverfahren notwendig ist.

Anzeige
Massenflussregler MCV

Ein integriertes, pneumatisches Absperrventil im Massenflussregler MCV bewahrt die Vakuumprozessintegrität und Effizienz (Bild: Alicat)

Das Absperrventil, das im Massenflussregler integriert ist, wird normal geschlossen und hat eine positive Abschaltung von max. 1 x 10-9 atm sccm/sec Helium. Der Regler steuert bei einer Reaktionszeit von 50 bis 100 ms einen Gasdurchsatz von 0,5 cm3 pro min bis 20 l pro min. dabei ist die schnelle Reaktionszeit entscheidend für die Qualität des Endprodukts. Für 30 Gase sind vorprogrammierte Kalibrierungen integriert, für die der Massenflussregler Massenstrom, Volumen, Absolutdruck und Temperatur anzeigt. Programmierung erfolgt über eine Tastatur am Instrument oder über eine RS-232- bzw. RS-485-Schnitstelle aus der Ferne.

 

Loader-Icon