Bei der Halbleiterproduktion wird Flusssäure als häufigstes Ätzmittel verwendet. Entsprechend den geltenden Abwasservorschriften darf die Fluoridkonzentration in Abwasser 50 mg/l nicht überschreiten. Mit der neuen Fluorid-Messstelle von ProMinent ist, im Gegensatz zu herkömmlichen Stichprobenverfahren, eine kontinuierliche Online-Überwachung des Fluoridgehaltes im ppm-Bereich möglich. Das Monitoring-System basiert auf einer ionenselektiven Elektrode. Im Gegensatz zu herkömmlichen Fluoridnachweisverfahren benötigt es keinerlei chemische Zusätze. Das System zeichnet sich durch reproduzierbare, genaue Messergebnisse aus, unabhängig von Temperatur- und pH-Wert-Schwankungen.
Keywords: Fluoridmessung, Online-Überwachung
