Für die Halbleiterindustrie müssen Chlorwasserstoffe eine besonders hohe Reinheit haben. (Bild: SweetBunFactory - stock.adobe.com)
Wacker zählt zu den Unternehmen in Europa, die Chlorwasserstoffe in der für die Halbleiterindustrie benötigten Reinheit liefern können. Vorstandsmitglied Christian Kirsten ordnet ein: „Die Digitalisierung führt nicht nur zu einer wachsenden Nachfrage nach Computerchips, sondern auch nach Prozessmedien wie hochreinem Chlorwasserstoff. Mit der Erweiterung unserer Kapazitäten können wir diesen Bedarf auch in Zukunft bedienen.“
Das Unternehmen nutzt Steinsalz aus seinem eigenen Bergwerk in Stetten, um Chlorwasserstoff zu produzieren. Zusammensetzung und Reinheit des dort geförderten Salzes eignen sich besonders gut für die Produktion. „Bisher lag die Messlatte für halbleitertaugliches HCl bei 99,9979 Prozent“, sagt Thomas Koini, Leiter des Geschäftsbereichs Silicones. „Unser Chlorwasserstoff hat einen Reinheitsgrad von 99,9995 Prozent und ist damit deutlich reiner als die sonst erhältlichen Qualitäten. Damit lassen sich die Reinheitsanforderungen in der Chipindustrie auch künftig erfüllen.“
Wofür werden Chlorwasserstoffe genutzt?
Chlorwasserstoff (HCl) wird in der chemischen Industrie auf vielfältige Weise eingesetzt. Mit dem Reaktionsgas lassen sich aus energiearmen Rohstoffen reaktive Zwischenprodukte herstellen, die für die nachgelagerten Produktionsschritte benötigt werden. Wacker nutzt Chlorwasserstoff beispielsweise, um Silicone, hochdisperse pyrogene Kieselsäure und Polysilicium für die Solar- und Halbleiterindustrie herzustellen.
Das farblose, wasserlösliche Gas ist zudem ein wichtiges Prozesshilfsmittel in der Halbleiterindustrie. Diese setzt Chlorwasserstoff zum Ätzen von Reinstsiliciumwafern und zum Reinigen von Anlagenteilen ein. Um Verunreinigungen zu vermeiden, müssen die verwendeten Medien hochrein sein.
