Polysilicium wird für die Herstellung von Halbleiterwafern verwendet und erfordert dafür eine besonders hohe Oberflächenreinheit. (Bild: Wacker)
Gegenüber dem jetzigen Stand sollen die dort bestehenden Kapazitäten um „deutlich mehr als 50 %“ steigen. Das Investitionsvolumen für das Gesamtprojekt liegt laut Unternehmensangaben in der Größenordnung von über 300 Mio. Euro. Am Standort Burghausen sollen durch den Ausbau mehr als 100 neue Arbeitsplätze bei Wacker selbst sowie weitere Arbeitsplätze bei Partnerfirmen entstehen.
Wacker ist nach eigenen Angaben der einzige europäische Hersteller von hochreinem Polysilicium. Das Ätzen der Polysiliciumstücke, die als Ausgangsmaterial für die Herstellung von Halbleiterwafern verwendet werden, ist der entscheidende Produktionsschritt, um die für diese Anwendung erforderliche Oberflächenreinheit des Materials zu erreichen.
Wie funktioniert die Reinigung von Polysilicium?
Die Oberflächenreinigung von Polysiliciumstücken ist ein komplexer und technisch sehr anspruchsvoller Prozess. In einem Ätzvorgang wird dabei mit Hilfe starker Säuren die oberste Schicht an der Oberfläche des Polysiliciums abgetragen. Anschließend wird es unter Reinraumbedingungen für den Versand zu den Kunden verpackt. Durch den Einsatz modernster Technologien und einen hohen Automatisierungsgrad wird in den neuen Anlagen eine Oberflächenreinheit erzielt, die bereits jetzt den immer weiter steigenden Anforderungen für zukünftige Generationen von Halbleiterwafern entspricht.
Wacker will Halbleiter-Geschäft verstärken
„Durch den Ausbau unserer Kapazitäten für die Oberflächenreinigung schaffen wir nicht nur die Voraussetzung, um die weiter stark wachsende Nachfrage unserer Halbleiterkunden zu bedienen. Diese Investition ermöglicht es uns außerdem, bei der Qualität unseres Materials einen weiteren Sprung nach vorne zu machen, um auch die neuesten Technologien der Halbleiterindustrie zu unterstützen“, erklärte der Vorstandsvorsitzende Christian Hartel.
Bei der Vorstellung seiner neuen Wachstumsziele im März vergangenen Jahres hatte das Unternehmen bekanntgegeben, sich künftig in seinem Polysiliciumgeschäft neben der Herstellung von Material für Solarzellen mit besonders hohem Wirkungsgrad auf den Ausbau seiner Kapazitäten für Halbleiteranwendungen zu konzentrieren. Der Geschäftsbereich Wacker Polysilicon will bis zum Jahr 2030 den Umsatz mit Kunden aus der Halbleiterindustrie verdoppeln. Dafür sind in den nächsten Jahren Investitionen von jeweils rund 100 Mio. Euro vorgesehen.
Forschung soll Reinheit weiter verbessern
Neben der Kapazitätserweiterung beinhaltet das Projekt auch Investitionen in Forschung und Innovation. Ziel ist es dabei, durch neue hochautomatisierte Verfahren die Reinheit des Polysiliciums weiter zu erhöhen und damit noch kleinere Strukturbreiten bei Halbleitern zu ermöglichen und diese noch leistungsfähiger zu machen.
Wacker hat sich für diesen Teil des Gesamtprojekts um eine Förderung im Rahmen des EU-Programms „Important Projects of Common European Interest“ (IPCEI) beworben. Bei Bewilligung des Antrags durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz rechnet der Konzern mit einer Förderung von bis zu 46 Mio. Euro.
